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【展商推薦】

珠海誠鋒電子科技有限公司

Zhuhai Chengfeng Electronic Technology Co., Ltd.

www.klat.com.cn

【公司簡介】

珠海誠鋒電子科技有限公司2015年成立，是一家集自主研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的半導(dǎo)體視覺外觀檢測設(shè)備高新技術(shù)企業(yè)，2022年被評為廣東省專精特新企業(yè)。

誠鋒科技專注于晶圓過程檢及先進(jìn)封裝領(lǐng)域視覺瑕疵檢測設(shè)備的研發(fā)與應(yīng)用，核心創(chuàng)始成員源于全球頂 級半導(dǎo)體公司的光學(xué)和視覺算法研發(fā)團(tuán)隊，深耕光學(xué)設(shè)計和視覺算法領(lǐng)域超過20年，產(chǎn)品擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。基于在該領(lǐng)域有深厚的光學(xué)光路設(shè)計及獨(dú)特的場景化檢測算法積累，我們專門針對晶圓制造特定細(xì)分領(lǐng)域設(shè)計了多種光路方案，挑戰(zhàn)全球頭部技術(shù)。目前，已經(jīng)落地在硅光晶圓、光通信透鏡、化合物半導(dǎo)體、數(shù)字類晶圓等多種領(lǐng)域。

誠鋒科技，持續(xù)創(chuàng)新，用創(chuàng)新驅(qū)動價值增長，以品質(zhì)提升品牌價值，致力于解決國內(nèi)半導(dǎo)體視覺檢測“卡脖子”的難題，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代，成為高端視覺檢測設(shè)備領(lǐng)跑者!

【本屆參展亮點(diǎn)】

1、納米級有圖形晶圓檢測設(shè)備，檢測精度：170nm；

2、先進(jìn)封裝六面檢技術(shù)。

【參展產(chǎn)品介紹】

【CFW920 Wafer過程檢測設(shè)備(光學(xué))】

適用領(lǐng)域：

1）FAB晶圓制造過程工藝控制

2）先進(jìn)芯片封裝集成的缺陷檢測

檢測精度：170納米

技術(shù)參數(shù)：

相機(jī)：誠鋒定制高速高分辨率彩色相機(jī)

光源：寬光譜/激光光源

像素分辨率：170納米/像素

最 高Defect檢測精度：170納米

檢測能力：1 Pixel(AI)

鏡頭：5X/10X/20X

可檢測瑕疵類型：各個工藝節(jié)點(diǎn)的圖形圖案不良

漏檢率：低漏檢率，低過殺率，可高效創(chuàng)建新Recipe

【CFW980 Wafer AOI設(shè)備】

適用領(lǐng)域：

1）FAB廠品質(zhì)終檢

2）Wafer裂片前后的檢測

3）Wafer擴(kuò)膜后的檢測

檢測精度：1~3微米

技術(shù)參數(shù)：

相機(jī)：誠鋒定制高速高分辨率彩色相機(jī)

光源：寬光譜/激光光源

CCD分辨率：Pixel size:2X(1.7微米)，5X(0.68微米)瑕疵

檢測精度： >1微米

可檢測瑕疵類型：裂紋、劃傷、針痕、凹坑、臟污、異物、崩缺等

背面檢測：支持晶圓背面檢測(可選)

讀取方式：支持RFID讀取(可選)

接入端口：支持SECS、GEM協(xié)議

支持尺寸：支持4、6、8、12寸晶圓

Loadport：支持2個Loadport

設(shè)備輸出：MAP圖、噴黑打標(biāo)(可選)

切割道：支持切割道檢測

復(fù)判模式：支持自動復(fù)判、手動復(fù)判雙模式

OCR：支持OCR(可選)