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【展商推薦】

蘇州矽視科技有限公司

SiScan Technology Co. Ltd.

【公司簡(jiǎn)介】

蘇州矽視科技有限公司2021年6月16日在蘇州成立，公司位于相城區(qū)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)富陽工業(yè)坊。本公司專注于高端半導(dǎo)體晶圓量檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)，致力于自主研發(fā)具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、滿足行業(yè)需求的國(guó)產(chǎn)電子束成像量檢測(cè)設(shè)備。

團(tuán)隊(duì)核心成員于集成電路行業(yè)從業(yè)經(jīng)驗(yàn)15年以上，掌握核心技術(shù)及各種訣竅，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng) 先水平，能夠引領(lǐng)上下游核心零部件產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。

【參展產(chǎn)品介紹】

【CD-SEM】

CD-SEM主要是通過對(duì)于關(guān)鍵尺寸的采樣測(cè)量，實(shí)現(xiàn)對(duì)IC制造過程中，光刻工藝后所形成圖形尺寸進(jìn)行監(jiān)控，以確保良率。該設(shè)備對(duì)標(biāo)業(yè)內(nèi)主流量產(chǎn)產(chǎn)品，并研發(fā)特有的荷電控制方法和位置偏差的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償方法，在分辨率，視場(chǎng)、采樣頻率、定位精度和吞吐率等均可滿足市場(chǎng)要求。

【EBI】

EBI具有大跨度束流成像的電子光學(xué)設(shè)計(jì)，可滿足先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)偏重小束流高分辨率物理缺陷、第三代半導(dǎo)體制造及成熟工藝節(jié)點(diǎn)偏重大束流電性缺陷的檢測(cè)需求，擁有先進(jìn)多樣的充放電控制手段，對(duì)特殊工藝及器件的表面進(jìn)行高頻度的荷電調(diào)理，滿足電性缺陷的高靈敏度檢測(cè)需求。此設(shè)備為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，可解決電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備及核心零部件的“卡脖子”問題。